NV 다이아몬드 기반 양자기 센서
핵심 특징
- 단일 자기나노입자(10~30nm)까지 검출 가능한 초고감도
- 상온에서 동작하여 의료·연구 환경에서 적용 용이
- 고분해능 자기장 이미지 및 바이오마커 검출에 최적화
- 기존 광학 대비 장비 크기 대폭 축소(테이블탑/칩 크기)
- 바이오마커와 자기나노입자 결합 시 극저농도 단백질 정밀 검출 가능
다이아몬드 공정·나노 구조 기술
고품질 다이아몬드 성장
- CVD 기반 고결정 다이아몬드 성장 기술
- NV 센터 형성을 위한 질소 도핑/결함 제어
- 양자센서 제작을 위한 균일 박막 성장
다이아몬드 기반 반도체 공정 기술
- 기존 반도체 장비 활용한 패터닝·식각 공정
- 센서 어레이 및 집적 소자 구현을 통한 양산성 확보
- 공정 최적화를 통한 센서 감도 및 재현성 향상
다이아몬드 나노 구조물 제작 기술
- 나노 패턴·웨이브가이드 등 다양한 구조 설계
- 광 수집 효율 개선을 위한 3D 나노 구조 엔지니어링
- 고감도·고분해능 센서를 위한 집적 설계 구현
기술적 우수성
- ① 센서 성능과 생산성을 동시에 만족시키는 통합 다이아몬드 공정 체계
- ② 기존 상용 장비 대비 뛰어난 민감도·분해능·소형화 가능
- ③ 의료·반도체·국방 등 국가전략 시장을 겨냥한 플랫폼 기술
- ④ 소재 성장부터 나노 가공까지 풀스택 핵심 역량 보유
응용 분야
- 혈액 기반 암·치매·자가면역 바이오마커 분석
- 극저농도 단백질·DNA·세포 표지 물질 측정
- 반도체 공정 모니터링 및 결함 검사
- 초정밀 자기장 측정이 필요한 국방·보안·산업 센싱 영역
